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期刊论文 5

年份

2019 1

2017 1

2015 1

2000 2

关键词

多晶硅 3

三氣氢硅法 1

位错增殖 1

半导体工业 1

单晶硅 1

单晶种铸造 1

同步辐射X射线 1

地球内部 1

多晶 1

多晶型 1

多晶成核 1

岩石学 1

晶体工程 1

晶体粒度分布 1

流程 1

生产 1

矿物学 1

硅烷法 1

结晶 1

结晶过程设计和控制 1

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排序：展示方式：

电子级多晶硅的生产工艺

梁骏吾

《中国工程科学》 2000年第2卷第12期页码 34-39

摘要：

就建设1000t电子级多晶硅厂的技术进行了探讨。对三氣氢硅法、四氣化硅法、二氣二氢硅法和硅烷法生产的多晶硅质量、安全性、运输和存贮的可行性、有用沉积比、沉积速率、一次转换率、生长温度、电耗和价格进行了对比；对还原或热分解使用的反应器即钟罩式反应器、流床反应器和自由空间反应器也进行了比较介绍了用三氣氢硅钟罩式反应器法生产多晶硅三代流程。第三代多晶硅流程适于1000t/a级的电子级多晶硅生产。

关键词：多晶硅三氣氢硅法硅烷法流程生产

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兴建年产一千吨电子级多晶硅工厂的思考

梁骏吾

《中国工程科学》 2000年第2卷第6期页码 33-35

摘要：

文章简要评述了世界以及中国的电子级多晶硅的生产能力和市场需求。在2000年和2010年中国对多晶硅的需求分别是736 t/a和1304 t/a。但近几年中国的多晶硅生产仅达到80 t/a，所以在中国建设一座年产1000 t电子级多晶硅的工厂是很合理的。然而由最新统计数据可知，自1997年以来，世界多晶硅生产能力连年均超过市场需求，而且在最近的将来，这一趋势将会继续。为了占领国内多晶硅市场，未来的多晶硅工厂将面临挑战，产品质量和生产成本是应当考虑的最重要指标。为了占领国内市场，在保证多晶硅产品纯度的前提下，生产成本只能略微超过20美元/kg。

关键词：多晶硅半导体工业规模生产